| Επίδειξη | LCD |
|---|---|
| Ελάχιστο κομμάτι προς κατεργασία ακτίνας | κυρτά 2 χιλ./κοίλα 4 χιλ. |
| Λεπτό που μετρά την περιοχή | 2mm |
| Ελάχιστο πάχος δειγμάτων | 0.1mm |
| Μονάδες | Μετρικό/αυτοκρατορικό σύστημα επιλέξιμο |
| Υπόστρωμα επιστρώματος | μέταλλο, αμέταλλο |
|---|---|
| Αριθμός στρωμάτων επιστρώματος | ενιαίο στρώμα και πολλαπλάσια στρώματα |
| Μέτρηση της σειράς | 0.1~35μm (υπό τον όρο ακρίβεια, το παχύτερο επίστρωμα μπορεί επίσης να μετρηθεί, το λάθος θα γίνει β |
| Λάθος ένδειξης | ≤±10% |
| Ψήφισμα | χρυσό, διακοσμητικό χρώμιο 0.01μm άλλα είδη 0.1μm επένδυσης |