| Φασματόμετρο | Φασματόμετρο CCD και φασματόμετρο PMT | 
|---|---|
| Μήτρα ανάλυσης | Φε, Al, $cu, ZN, Νι, MG, PB κ.λπ. | 
| Οπτικό σύστημα | Κυκλικό πλήρης-φασματικό κενό οπτικό σύστημα παράγραφος-Runge-Roland | 
| Σειρά μήκους κύματος | 160~580nm | 
| Ξύνοντας εστιακό μήκος | 401mm | 
| Υπόστρωμα επιστρώματος | μέταλλο, αμέταλλο | 
|---|---|
| Αριθμός στρωμάτων επιστρώματος | ενιαίο στρώμα και πολλαπλάσια στρώματα | 
| Μέτρηση της σειράς | 0.1~35μm (υπό τον όρο ακρίβεια, το παχύτερο επίστρωμα μπορεί επίσης να μετρηθεί, το λάθος θα γίνει β | 
| Λάθος ένδειξης | ≤±10% | 
| Ψήφισμα | χρυσό, διακοσμητικό χρώμιο 0.01μm άλλα είδη 0.1μm επένδυσης | 
| Επαναληπτική συχνότητα σφυγμού | 20 Hz έως 2000 Hz | 
|---|---|
| Εύρος ανίχνευσης | 0-15000 mm, με ταχύτητα χάλυβα | 
| Ταχύτητα ήχου | 1000 έως 20000m/s | 
| Μέθοδοι εργασίας | Επανάληψη παλμού, διπλή και διαμετακόμιση | 
| Δυναμική περιοχή | Περισσότερα από 40 dB |